株式会社ＰＡＲＡＭ
製品
１． オゾンクリーニングユニット
２．Surface型高精度長寿命ステージ
技術
３．高輝度均一照射長寿命電子銃
４． 小型レンズ
<25mm Φ : resolution <10nm
５．MA-PSB
Multi-axis Programmable Shaped Beam
>87X(from 2500 to 10000)＝217,500 Beams @16nm
870,000 Beams @8nm
ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool
技術
<25mm Φ : resolution <10nm
Multi-axis Programmable Shaped Beam
>87X(from 2500 to 10000)＝217,500 Beams @16nm
870,000 Beams @8nm
ML2 from 10 to 30 WPH (300mm) / a unit tool
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